FIB聚焦离子束装置SMI2050:实现高效原子级金属沉积原子级金属沉积是制造高质量晶体管、微电子器件和传感器的关键工艺之一。话说回来,传统的化学气相沉积(CVD)和磁控溅射(MCP)等方法存在一些限...